语言
English
关闭

在线留言

请填写以下信息,我们会尽快与您联系

Industry Solution

半导体行业解决方案

大族尚立 HansSunlit

方案概述

先进的激光加工技术整合与应用,致力为高端芯片制造提供专业的加工方案和技术支持服务

以激光加工技术为核心
覆盖泛半导体多工序需求

泛半导体制造涉及晶圆、碳化硅、硅MEMS、钽酸锂、玻璃、陶瓷等多种材料。不同材料的硬脆性、厚度、结构和后续装配要求各不相同,加工方案需要同时考虑切割方式、定位精度、边缘质量与上下游衔接。

大族尚立以先进的激光加工技术整合与应用为基础,围绕激光解键合、激光开槽、激光打孔、激光打标、激光内部改质、激光切割及刀轮切割等核心工艺,为高端芯片制造提供专业的加工方案和技术支持服务。

效果展示

从晶圆解键合、激光开槽到内部改质,展示工艺作用后的表面与截面结果
晶圆激光解键合效果
01

晶圆解键合

解键合后晶圆表面与阵列保持完整

激光开槽截面检测效果
02

激光开槽

通过截面与轮廓数据判断槽形质量

激光开槽槽形均一性效果
03

槽形均一

观察槽宽、槽深及边缘形貌的一致性

MEMS表面激光加工效果
04

MEMS表面

展示微结构区域加工后的表面边界

碳化硅与硅晶圆内部改质切割效果
05

激光内部改质

对比碳化硅与硅晶圆的切割表面及截面

碳化硅改质加工表面效果
06

SiC改质加工表面

展示分片后的边缘与表面完整性

应用优势

以加工品质、精度、效率和材料利用率为核心,为客户创造可量化的价值

加工品质优良

无崩缺、无粉尘,芯片强度高,切割损失小,保证加工后材料品质。

高精度加工系统

高精度视觉系统,自动对位、自动寻焦;配合高精密运动平台,保证加工精度。

加工效率高

划片速度快,大幅提高加工效率,满足量产节拍需求。

材料利用率高

有效降低切割损失,提高材料利用率,降低综合材料成本。

主要设备

覆盖从晶圆解键合到裂片分离的关键工艺设备

SOLUTION CONSULTING

从您的材料与加工目标开始

技术咨询
0.391272s