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Industry Solution
泛半导体制造涉及晶圆、碳化硅、硅MEMS、钽酸锂、玻璃、陶瓷等多种材料。不同材料的硬脆性、厚度、结构和后续装配要求各不相同,加工方案需要同时考虑切割方式、定位精度、边缘质量与上下游衔接。
大族尚立以先进的激光加工技术整合与应用为基础,围绕激光解键合、激光开槽、激光打孔、激光打标、激光内部改质、激光切割及刀轮切割等核心工艺,为高端芯片制造提供专业的加工方案和技术支持服务。
解键合后晶圆表面与阵列保持完整
通过截面与轮廓数据判断槽形质量
观察槽宽、槽深及边缘形貌的一致性
展示微结构区域加工后的表面边界
对比碳化硅与硅晶圆的切割表面及截面
展示分片后的边缘与表面完整性
无崩缺、无粉尘,芯片强度高,切割损失小,保证加工后材料品质。
高精度视觉系统,自动对位、自动寻焦;配合高精密运动平台,保证加工精度。
划片速度快,大幅提高加工效率,满足量产节拍需求。
有效降低切割损失,提高材料利用率,降低综合材料成本。
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